SPECEL系列橢偏儀是一款應用橢圓偏光原理的臺式薄膜測量系統，適用于平面多層膜厚測量，如晶片、玻璃片等。分光橢偏儀可以測量光的多層反射，除了強度之外，也可以測量相對的相位和振幅變化，利用這種技術可以同時對多種參數進行測量。

　　SPECEL系列橢偏儀結構組成

　　寬光譜光源，導光器件，起偏器，樣品臺，檢偏器，增強光學元件和微型線陣列CCD光譜儀，測量軟件。

　　SPECEL系列橢偏儀基本原理 橢圓偏光技術是一種非接觸式、非破壞性，以光學技術測量表面薄膜特性的方法。當一束偏振光經過物體表面或界面時，其偏振極化狀態會被改變。而橢偏儀就是通過探測樣品表面的反射光，來測量此改變（即反射光和入射光的振幅及相位的改變量），以決定表面薄膜的光學常數（n, k值）及膜厚。

　　SPECEL系列橢偏儀的特點：

　　膜厚準確度在1nm，精度在0.1nm

　　可測量多達25層膜厚

　　每層膜厚可從0.1nm至8um，450-900nm的光譜范圍

　　光斑大小為2mm*4mm，光學分辨率為200um*400um

　　適合于平面半透明的材料測量，如晶片、玻璃、薄膜和金屬箔等

　　可選項包括2D位移功能，標準晶片等

　　附帶的軟件可以非常容易地存儲和載入不同的測量組合模式